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實驗室超純水設備可以去除水中哪些雜質

2019-04-19 10:48:03

  我們都知道超純水設備能夠去除水中的各種雜質,經過超純水系統處理后的水,可以滿足電子行業、實驗室等高標準用水,那么實驗室超純水設備能去除哪些水中哪些雜質呢。

  1、溶解的無機鹽

  有鈉、鈣、鎂等鹽類,溶于水形成正離子。含有這些離子的水沖洗半導體器件時,會使這些不純物擴散到集成電路表面,造成短路。過去除去水中無機鹽是將水蒸餾,但就是三次重蒸餾水,水的電阻率僅3兆歐—厘米,水中仍含有大于01ppm的NaCl。最近有用反滲透法去離子。所以要用離子交換樹脂。陽離子交換脂和陰離子交換樹脂分別使用,易于再生,混合床離子交換樹脂用在離子交換的終級,起把關的作用。這樣出來的水可達18兆歐—厘米(25攝氏度)。

超純水設備

  2、溶解的有機物

  有工業排出污物、洗滌劑、生物分解物和微生物的新陳代謝產物。這些可以用活性炭吸附方法除去。炭床要置于離子交換樹脂之前,因活性炭本身會帶來雜質。必須注意,進入樹脂床的水要先除去有機物,因為離子交換樹脂易為有機物(如腐殖酸)污染。反滲透可除去分子量大于300的有機物,分子量小于300的有機物可除去90%。

  3、粒子物質

  很多地方都容易產生,如炭床、樹脂床、深層過濾等一些設備。雖然用一些方法使達到高電阻率,但沒有有效地除去粒子物質。這就會使半導體器件出現針孔、短路、斷路、內部擊穿和光致抗蝕劑脫落等缺陷。除去粒子物質,只有用膜濾,一般標準用孔徑為0.45微米的微孔濾膜,特殊需要用孔徑為0.22微米的微孔濾膜,除去膠體鐵、膠體硅和小細菌。反滲透也能除去小粒子。

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